SoW(Sensor on wafer)는 실시간 공정진단 웨이퍼형 센서 시스템으로 4차 산업혁명의 중추인 반도체 기술의 지속적인 성장과 발전에 이바지 하고 있습니다. 공정 미세화 등 반도체 제조 기술의 지속적인 고도화에 따른 공정 진단 Needs를 충족시킵니다.
실시간 공정진단 웨이퍼형 센서 시스템 SoW(Sensor on Wafer) 개요
이트론의 SoW(실시간 공정진단 웨이퍼형 센서 시스템)은 공정 진단을 위한 총체적인 솔루션입니다.
실제 웨이퍼와 같은 모양으로 온도센서, 플라즈마 센서, RF 모듈, 작동 및 데이터 저장 회로, 배터리 등이 포함되어 있으며, 시간단위로 웨이퍼의 온도를 진단하고 기록한 후 ＇SoW 소프트웨어＇로 데이터를 전송합니다.
엔지니어는 정확한 프로세스 진단, 프로세스 개선 및 장비 관리를 위한 데이터로 활용합니다.
온도형 SoW 생산 및 계측 기술
세계 최초의 Plasma형 SoW 생산 및 계측 기술 개발
세계 최초의 하이브리드형 SoW 생산 및 계측 기술 개발
플라즈마 계측 보정 기술
Sensor on Wafer Products
SoW(Sensor on Wafer) 구성도
실시간 공정진단 웨이퍼형 센서 시스템은 반도체 수율 증가에 가장 큰 핵심 기술입니다.
특허 전략
이트론 SoW는 공정 단계에 다양한 특허를 보유함으로 반도체 공정 진단을 위한 총제적인 솔루션으로서 역할을 하고 있습니다.
사업 전략
이트론은 전세계의 다양한 회사들과의 협력을 통해 해외시장을 확장시켜 나가고 있습니다.
